激光干涉仪

激光干涉仪

（Laser Measurement Machine）

 

型号及规格：XL-80

生产厂商：英国RENISHAW

 

设备功能及主要性能指标

激光干涉仪使用快捷、方便，系统结合了成熟的技术及丰富的经验，能够满足和超越实际工业规范水平。提供4 m/s****的测量速度和50 kHz记录速率；即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率；环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值；所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。

 

设备应用

 

设备主要用于检定和校准坐标测量机、数控加工中心及其他加工装备的线性定位精度、重复定位精度，俯仰/扭摆精度以及导轨直线度的检测；能够测试微动平台、直线电机运动装置等设备的运动速度、加速度、爮行等动态性能的测试；能够进行数控机床两轴联动精度的分析、检测及故障诊断等。