彩色3D激光扫描显微镜

彩色3D激光扫描显微镜

（COLOR 3D Violet Laser Scanning Microscope）

 

型号及规格：VK-9700

生产厂商：日本KEYENCE

 

设备功能及主要性能指标

 

彩色3D激光扫描显微镜可通过彩色处理系统获得与电子扫描显微镜相媲美的微观图像，实现微尺度对象的非接触式3D测量。设备操作轻松快捷，无需对物体预先进行蒸金、切断、拆卸等预处理，并可对较大区域图像和数据进行自动拼合。

 

光源：紫色半导体激光；

激光扫描：平面（2048×1536像素）；

观察倍率：200-18000倍；

线性标尺模组分辨率：0.001μm (1nm)；

重复精度：0.014μm 。

 

 

设备应用

 

可实现对微尺度物体高精度测量，操作便捷。应用范围包括：晶片表面面粗糙度测量、太阳能电池表面测量、TFT高度测量、平均高度测量、导电性粘剂部自动宽度测量、等离子电解氧化处理后表面粗糙度测量、毛发粗糙度测量、手机表面薄膜厚度测量等。