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激光干涉仪

来源: 发布时间:2011-1-26 阅读:


激光干涉仪

Laser Measurement Machine

 

型号及规格:XL-80

生产厂商:英国RENISHAW

 

设备功能及主要性能指标

激光干涉仪使用快捷、方便,系统结合了成熟的技术及丰富的经验,能够满足和超越实际工业规范水平。提供4 m/s****的测量速度和50 kHz记录速率;即使在最高的数据记录速率下,系统准确性可达到±0.5ppm(线性模式)和1纳米的分辨率;环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取,每7秒更新一次激光读数补偿值;所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位,保证能够溯源至国际公认的长度标准。

 

设备应用

 

设备主要用于检定和校准坐标测量机、数控加工中心及其他加工装备的线性定位精度、重复定位精度,俯仰/扭摆精度以及导轨直线度的检测;能够测试微动平台、直线电机运动装置等设备的运动速度、加速度、爮行等动态性能的测试;能够进行数控机床两轴联动精度的分析、检测及故障诊断等。